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        中導光電設備股份有限公司
         
         
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        首臺國產11代線高端量測設備(CDOL)交付TCL華星

                2020年初,中導光電成功研制首臺國產11代線高端量測設備(CDOL:自動線寬測量機),并且于當年7月2日正式交付TCL華星T7工廠投入使用,這是中導光電繼G8.5代線以下CDOL設備國產化之后又一重大突破,標志著中導光電在填補多項國內技術空白后,最終將平板顯示高端量測設備(CDOL)的短板全部補齊。

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               平板顯示制造業屬于半導體工業,是當代高端制造的一個戰略制高點,因此也是《中國制造2025》重點支持的產業領域,平板顯示設備制造業則是平板顯示制造業的基礎和關鍵所在,成為重中之重。由于歷史的原因,中國平板顯示設備長期被國外幾家半導體設備供應商所壟斷,尤其是前段(顯示器面板在切割通電之前的工藝過程)設備,由于技術門檻高,綜合性大,制造工藝復雜,以及戰略意義重大等特點,一直是國外半導體設備供應商爭奪的熱點,也是我國高端裝備制造的主要短板之一。
               
        TFT-LCD制造領域,由于各廠商對成本與效率指標的追求,新產線投資主要向大世代方向發展,11代線是當前世界范圍內的最大世代產線。隨著產線工藝尺寸的大幅提升,以及就良品率指標的進一步嚴苛,對產線設備的各方面技術指標提出了更為苛刻的要求。中導光電研發和生產的一系列檢測和量測設備,正是提高產線良品率的、必不可少的重要生產設備。此次中導光電11代線CDOL(關鍵尺寸量測)高端設備的交付,是中導光電在填補多項國內該領域技術空白后的又一重大技術突破。

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               中導光電成立于2006年,是一家長期專注于平板顯示高端檢測裝備研發、生產與銷售的高新技術企業。公司創始人團隊全部來自于海外頂尖半導體檢測裝備企業,具有該領域豐富的研發經驗和深厚的技術積累。企業成立至今,累計銷售各類高端檢測設備產品逾300余臺套,裝機范圍覆蓋中國大陸及中國臺灣數十條重要產線,并與京東方、TCL華星、深天馬等國內多個主要平板顯示制造企業建立了良好合作關系。

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               公司核心產品自動光學檢查機(AOI)系列,主要應用于平板顯示前道制程的缺陷檢測,競爭對手為以色列奧寶科技、韓國HBT等海外企業。目前,公司AOI產品有線陣、面陣、離線、在線等不同種類和不同世代的各種組合,種類覆蓋范圍與世界行業龍頭奧寶科技處同一水平。
               
        中導光電此次交付的CDOL設備,是公司除自動光學檢測設備(AOI)系列之外的另一拳頭產品。該設備主要應用于平板顯示前道制程領域的關鍵線寬尺寸測量,最高測量精度為亞微米級,重復精度達到20nm,處于國內領先和國際先進水平。中導光電研發和生產的一系列檢測和量測設備,均是提高平面顯示屏制造廠商產線良品率的、必不可少的重要生產設備。


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